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物理气相沉积的详述 前级泵和粗抽泵的区别吗

2020-09-30知识9

真空镀膜 工作流程 1。装工件。2。手动开启转架至少转动一周以上,看是否有刮蹭,如果转动正常,关闭真空门。3。检查门关到位信号,开启V1阀,启动粗抽泵(机械泵和罗茨泵),开始抽真空,当真空度达到4Pa,关闭V1阀,开启V2和V3阀,使用分子泵(扩散泵)抽真空,此时机械泵、罗茨泵和前级泵共同为分子泵(扩散泵)的前级。4。当真空度达到镀膜真空后,开始镀膜。

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4升真空泵抽压缩机能抽到多少帕真空度? 4升真空泵2113抽压缩机能抽到10mbar-1mbar。普通5261的机械真空4102泵能1653抽到百分之一真空。油扩散泵能抽到万分之一或十万分之一,分子泵还要更高。低压真空泵分:水环式真空泵2000~4000pa旋片式真空泵101325~1.33×10-2(pa)1、水环式真空泵水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000pa,串联大气喷射器可达270~670pa。水环泵也可用作压缩机称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105pa表压力。2、旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。

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真空泵给吸不足,急… 真空刹车助力是靠真空泵来实现的。发动机运转时,会有规律地打开气缸吸气口同时关闭进气口,活塞向下运动,气缸内容积变大,在变大的过程中,缸内气压变低,自然从进气道。

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磁控溅射膜 是什么意思 另外 是不是 金属膜都是采用磁控溅射技术的

物理气相沉积的详述 (一)真空蒸镀原理(1)真空蒸镀是在真空条件下,将镀料加热并蒸发,使大量的原子、分子气化并离开液体镀料或离开固体镀料表面(升华)。(2)气态的原子、分子在真空中经过很少的碰撞迁移到基体。(3)镀料原子、分子沉积在基体表面形成薄膜。(二)蒸发源将镀料加热到蒸发温度并使之气化,这种加热装置称为蒸发源。最常用的蒸发源是电阻蒸发源和电子束蒸发源,特殊用途的蒸发源有高频感应加热、电弧加热、辐射加热、激光加热蒸发源等。(三)真空蒸镀工艺实例 以塑料金属化为例,真空蒸镀工艺包括:镀前处理、镀膜及后处理。真空蒸镀的基本工艺过程如下:(1)镀前处理,包括清洗镀件和预处理。具体清洗方法有清洗剂清洗、化学溶剂清洗、超声波清洗和离子轰击清洗等。具体预处理有除静电,涂底漆等。(2)装炉,包括真空室清理及镀件挂具的清洗,蒸发源安装、调试、镀件褂卡。(3)抽真空,一般先粗抽至6.6Pa以上,更早打开扩散泵的前级维持真空泵,加热扩散泵,待预热足够后,打开高阀,用扩散泵抽至6×10-3Pa半底真空度。(4)烘烤,将镀件烘烤加热到所需温度。(5)离子轰击,真空度一般在10Pa~10-1Pa,离子轰击电压200V~1kV负高压,离击时间为5min~30min,(6)预熔,调整电流使镀。

罗茨风机与罗茨真空泵的区别? 罗茨风机是一种高压风机,罗茨风机为容积式风机,输送的风量与转数成比例,把气体由吸入的一侧输送到排出的一侧。罗茨风机的原理,有点类似齿轮油泵。风机的两个转子近似两。

液环真空泵选用都有哪些注意事项?

好凯德真空泵真空度及真空技术的区别真空技术是利用真空泵、真空机组及其他真空系统完成特定工艺的技术,在各种工业生产和科研工作上得到广泛应用。如:石油(真空蒸馏)、化工、罐头食品、冶金、灯泡和电子管等生产,其设备一般都采用真空技术。而真空度的高低是根据容器内部的空气和其它物质的蒸气抽出后,所剩余的压力来决定的。抽出的量越多,容器内部的压力越低,即真空度越高。但是,抽成绝对真空是没有的。真空的高低是以“真空度”来表示,它的单位是毫米汞柱或称“乇”。1乇就是1毫米汞柱。在实际应用中,常把不同的真空度划分为几个区域。气压为:100~10乇称为粗真空,例如水环式真空泵系列。10~10-3乇称为低真空,例如旋片式真空泵系列。10-4~10-8乇称为高真空,例如扩散泵系列。10-9乇以上称为超高真空,例如分子泵等。

#真空机组#罗茨风机#真空度

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