分子泵流速控制 泵的种类和工作原理

循环泵的流速如何测试 循环泵的流速测试 增压泵利用大面积活塞的低压气体（2—8bar）驱动而在小面积活塞上产生高压气体/PECVD工作原理是什么？ 1PECVD工艺的基本原理PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上（即样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。其工艺原理示意图如图1所示。在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。2.2PECVD设备的基本结构PECVD设备主要由真空和压力控制系统、淀积系统、气体及流量控制、系统安全保护系统、计算机控制等部分组成。其设备结构框图如图2所示。2.2.1真空和压力控制系统真空和压力控制系统包括机械泵、分子泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、真空计等。为了减少氮e69da5e887aa7a686964616f31333365646262气、氧气以及水蒸气对淀积工艺的影响，真空系统一般。泵的种类和工作原理 泵可2113以大致分为以下类型：1、容积式容积式泵是依靠工5261作元件在泵4102缸内作往复或回转运动，使工1653作容积交替地增大和缩小，以实现液体的吸入和排出。工作元件作往复运动的容积式泵称为往复泵，作回转运动的称为回转泵。2、动力式靠快速旋转的叶轮对液体的作用力，将机械能传递给液体，使其动能和压力能增加，然后再通过泵缸，将大部分动能转换为压力能而实现输送。动力式泵又称叶轮式泵或叶片式泵。有些动力式泵有主叶轮和副叶轮同时使用，离心泵是最常见的动力式泵。3、隔膜式隔膜泵又称控制泵，是执行器的主要类型，通过接受调制单元输出的控制信号，借助动力操作去改变流体流量。隔膜泵一般由执行机构和阀门组成。采用压缩空气为动力源，对于各种腐蚀性液体、带颗粒的液体、高粘度、易挥发、易燃、剧毒的液体，均能予以抽光吸尽。泵是把机械能转换成液体的能量，来输送液体或使液体增压的机械。它将原动机的机械能或其它外部能量传送给液体，使液体能量增加。泵主要用来输送水、油、酸碱液、乳化液、悬乳液和液态金属等液体，也可输送液、气混合物及含悬浮固体物的液体。扩展资料：按行业分，泵分为化工泵、环保泵、消防泵。化工泵：渔业泵 矿业。真空泵转速或体积流量可调吗 一般来说压力和流量曲线不是平的，真空度越高抽气速度就会越低。一般来说只要通电泵的转速就是恒定的，但是随着真空度的增大，空气分子密度就会变小所以抽速就会变小。不知道你需要的是那种原理的真空泵？我就拿分子泵举例吧，现在比较好的真空泵就有丰富的通信接口，可以通过真空度等参数来控制真空泵的抽速。能不能把你的更详细的需求发给我，e_mail：micheal_feng@yahoo.com.cn

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