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PECVD工作原理是什么? 11kw罗茨泵抽气量

2020-10-06知识5

罗茨真空泵真空度有多大 单个罗茨泵不能在大气压下直接启动,需要一定的启动压差,这就意味着他需要前级泵现抽到启动压差后再运行。前级泵配的不一样所达到的压力也不同,前级泵配成水环泵与配成旋片泵的压力有就很大的差异

PECVD工作原理是什么? 11kw罗茨泵抽气量

罗茨真空泵最大抽气量 我们的罗茨泵最大抽气量16000立方米/小时。

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关于两个真空泵串联和并联有什么区别? 并联可以得来到更大的抽气量,基本就是1+1=2;源串联可以得到更高的真空度,但是这个就不是1+1=2了;在现实中,很少有用同型号的真空泵来串联百,往往是用大气量的度泵作为前级,小气量的泵为后级;而且,往往用不同类型的泵搭配,能得到更高的真空知度及抽气量,比如:水环泵+罗茨泵,旋片泵+罗茨泵,旋片泵+升华泵道等。

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#罗茨真空泵

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