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过量氢氟酸与二氧化硅反应到底是生成四氟化硅还是氟硅酸? 四氟化硅废气用水吸收

2021-04-28知识0

如何处理四氟化硅气体,最好是可以回收利用的好方法,谢谢。 四氟化硅与碳酸钠溶液发生不完全水解反应:3SiF4+2Na2CO3+2H2O=H4SiO4↓+2Na2SiF6↓+2CO2四氟化硅与氢氧化钠反应较为彻底;SiF4+6NaOH=Na2SiO3+4NaF+3H2O

什么工艺会产生四氟化硅和氟化氢? 我知道的主要是真空镀膜设备,太阳能电极板之类的东西镀膜用,材料很多,但是基本上都是这种对人体十分有害的东西

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#四氟化硅废气用水吸收

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